ITO真空熱壓爐
1、ITO真空熱壓爐可實現自動或手動控制。
2、ITO真空熱壓爐可實現溫度、壓力同步控制。
3.ITO真空熱壓爐設有超壓、超溫安全警報系統。
- 信息
ITO真空熱壓爐產品介紹：
ITO真空熱壓爐是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合，在高溫氣氛下（1600度，氧氣燒結）經過一系列生產製程而成的黑灰色陶瓷半導體。以ITO靶材為原料，對ITO薄膜進行磁控濺射，將ITO靶材氧化至玻璃基板或柔性有機薄膜上。ITO薄膜具有導電性和半透明性，其厚度一般為30nm至200nm。合金靶材真空熱壓爐是在真空（或其他氣氛）條件下熱壓各種合金材料的成套設備。主要採用電阻加熱，由油缸驅動壓頭下壓。本設備集真空/氣氛、熱壓及高溫燒結於一體，適用於各類合金靶材的高溫熱成型。
ITO真空熱壓爐產品優點：
1.我們的高真空熱壓燒結爐是真空熱壓爐的一種，採用真空熱壓方式。
2.真空熱壓法是利用熱能和機械性質使粉狀材料緻密化的過程。ITO真空熱壓爐所添加的能量加速了粉狀材料的緻密化，因此可以在較低的溫度和較短的時間內進行加工。完全自主生產全緻密ITO靶材產品。
3.本產品為高真空熱壓燒結爐，真空性能高，密封性能強。
4.我司ITO真空熱壓爐採用前開室水平設計，裝卸模具方便。
ITO真空熱壓爐產品規格：
| 安裝形式 | 垂直的 |
| 加熱器分配方式 | 圓形分佈（鼠籠式） |
| 加熱器材質 | 石墨 |
| 保溫材料 | 硬碳氈 |
| 最高溫度 | 2300℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫度均勻性 | ±5℃ |
| 極限真空度 | 5×10-4Pa |
| 壓力上升率 | 0.5帕/小時 |
| 最大壓力 | 1T至1000T可選 |
| 壓頭位移精度 | 0.1毫米 |
| 壓力波動 | ±0.1MPa |
| 平均溫區大小 | Φ1000mm×1500mm |
| 控制方式 | 自動/手動 |
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